国产半导体芯片产业链好消息：
中科院在DUV光源技术上取得实质突破！能发射193nm的Coherent Light，光源波长达到了主流DUV大厂同级水平，而且中科院的技术路线上亦有创新，是通过固态设计来缩小系统设计的复杂度与体积，并减少对稀有气体的需求量，降低能耗…
目前其光谱纯度已大致与各大Foundry里的ASML或Canon与Nikon的准分子激光系统相当，理论上已经能满足7nm或更先进工艺节点的需求，但距离正式商用还有一段距离：
①中科院的DUV激光光束目前输出功率为70mW（平均值），而ASML的DUV准分子激光器输出功率高达100W以上
②中科院的DUV激光光束频率为6kHz，而ASML的DUV准分子激光器频率超过9kHz
也就是说，想要满足Fab的晶圆制造，还需要攻克功率与频率这2个难题，但是最难的光源本身解决了，功率和频率相信中科院也有办法在后续的迭代升级中搞定。
让我们拭目以待！
国产加油💪🏿
闫蛮子
生产方式不一样，还需要那么大的功率嘛？